调研速递|恒运昌接待平安资管等9家机构 2025年营收5.29亿 在手订单1.57亿

营收结构与在手订单：自研产品为主 订单储备充足

公司介绍，2025年实现营业收入约5.29亿元，收入主要来自自研产品，核心客户包括拓荆科技、宏大真空、中微公司、北方华创、微导纳米等半导体设备头部企业。2026年一季度，公司营收延续稳定态势，实现1.24亿元。截至2025年年度报告披露日，公司持有尚未交付的在手订单约1.57亿元，为后续业绩提供支撑。

在业务拓展方面，公司表示将发挥研发和技术优势，加快更先进工艺制程等离子体射频电源系统的产业化应用，并积极向光伏、显示面板、精密光学等领域延伸，致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。

核心产品：等离子体射频电源系统应用广泛 第四代产品处于验证阶段

针对等离子体射频电源系统的应用领域与特点，公司指出，该产品广泛应用于半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等关键环节，同时可应用于光伏、显示面板等领域。半导体设备及零部件行业对“精确复制”要求严苛，等离子体射频电源系统需确保高度稳定和可重复的生产工艺，经过精密校准和严格测试。目前，公司已具备成熟规模化量产能力，成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。

历经十余年发展，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar四代产品系列。截至2025年底，第四代Cedar系列处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大数据采集等功能，可支撑更先进制程。

销售模式：电源与匹配器可单独采购 无固定配套关系

关于产品销售模式，公司明确，客户可根据自身需求单独采购等离子体射频电源或匹配器，也可同时采购两者。此外，公司等离子体射频电源无需与同系列匹配器配套使用，同系列中电源和匹配器亦无固定配套关系，为客户提供灵活选择。

验证周期：双重验证程序复杂 国产化加速下周期缩短

公司表示，半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”规律，等离子体射频电源系统等核心部件需通过半导体设备商及晶圆厂双重验证，经历功能验证、上机验证、工艺验证、晶圆厂生产验证等多个环节，程序复杂、难度大、周期长。早在2018年，公司与拓荆科技率先开展国产化开发及验证，历经2年多合作，产品于2020年下半年逐步批量交付。近年来，国内晶圆厂及半导体装备商加速核心零部件国产化，同一客户其他系列产品验证时间相应减少，公司产品整体认证周期逐步缩短。

引进产品规划：与自研互补 拓展多领域市场空间

在引进产品业务规划方面，公司称引进产品与自研产品相互补充，共同构成等离子体工艺核心零部件整体解决方案。目前引进产品聚焦真空泵、质量流量计、等离子体直流电源：真空泵客户以精密光学镀膜及半导体设备客户为主，将拓展半导体、光伏及显示面板客户；质量流量计目前收入较少，集中于精密光学镀膜客户，将拓展半导体、光伏及显示面板领域，并加快自研质量流量计研发落地和出货；等离子体直流电源目前以光伏、面板、精密光学领域客户为主，自研产品已批量出货，引进和自研产品相互补充，为客户直流溅射镀膜工艺提供更多选择。

供应链管理：推进元器件全面国产化 建立安全库存机制

供应链方面，公司对供应商实行动态管理，筛选优质供应商优化采购渠道，并综合考虑原材料采购周期、供应商供货能力、采购量起订门槛等因素，对常用材料建立安全库存机制。自2021年起，公司已实现真空电容、陶瓷电容、MCU以及SiC MOS、LDMOS、部分ADC和FPGA等元器件的国产化应用，目前已确定上游元器件全国产化方案，将持续推进全面国产化验证工作。

产能情况：2025年利用率达98.51% 多举措推进产能提升

公司透露，2025年产能利用率达98.51%。为提升产能，公司正积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司从试产到量产的跨越，同时加速深圳产能建设落地，并计划逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目建设，为后续产能释放奠定基础。

公司强调，以上涉及行业发展趋势、公司发展规划等内容不代表对行业或公司业绩的预测和承诺，不构成对投资者的实质性承诺，敬请投资者注意投资风险。

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