芯碁微装申请直写式光刻机相关专利，实现直写式光刻机高阶灰度的高质量曝光

7月25日消息，国家知识产权局信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“一种直写式光刻机高阶灰度曝光控制方法、装置”的专利。申请公布号为CN122449850A，申请号为CN202610354092.6，申请公布日期为2026年7月24日，申请日期为2026年3月23日，发明人王超、周明如、谢鹍，专利代理机构合肥天明专利事务所（普通合伙），专利代理师高金玉，分类号G03F7/20、G03F7/00。

专利摘要显示，本发明涉及微纳加工技术领域，公开了一种直写式光刻机高阶灰度曝光控制方法、装置，包括：获取待曝光的N位灰度数据，其中N≥10；通过照明光路单元对所述DMD进行照明，其中，照明光路单元包括照明调节元件，照明调节元件被配置为在DMD上产生非均匀的光照强度分布，使得DMD的不同区域具有不同的光照强度；根据N位灰度数据，生成用于控制DMD的微镜阵列的多帧控制数据；将多帧控制数据加载至DMD，以在扫描曝光过程中，将N位灰度数据中不同权重位的数据分配到DMD的不同区域进行曝光显示；其中，较高权重位的数据被分配至DMD上光照强度较低的区域进行曝光显示。使直写式光刻机能够稳定实现1024灰阶及以上的高质量曝光。

芯碁微装是国内直写光刻设备领域领先企业，主营微纳直写光刻类核心设备，具备稀缺的自主技术壁垒。公司成立于2015年6月30日，于2021年4月1日登陆上海证券交易所，注册地为安徽省合肥市，办公地覆盖安徽省合肥市、香港特别行政区。

芯碁微装主营业务聚焦以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售与配套维保服务，产品覆盖PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统等，功能可覆盖微米到纳米级多领域光刻环节。公司申万行业分类为机械设备-专用设备-其他专用设备，同时隶属于先进封装、百元股、高价股概念板块。

2025年，芯碁微装实现营业收入14.08亿元，在所属行业93家可比企业中排名第31位，低于行业平均17亿元水平，高于9.94亿元的行业中位数，同期行业营收前两位企业分别为科达制造（173.89亿元）、豪迈科技（110.78亿元）。营收结构中，PCB系列贡献10.8亿元，占比76.69%；泛半导体系列贡献2.33亿元，占比16.58%；租赁及其他业务收入8739.3万元，占比6.21%；其他补充类业务收入738.1万元，占比0.52%。同期公司实现净利润2.9亿元，行业排名第12位，大幅高于1.23亿元的行业平均水平与4809.11万元的行业中位数，同期行业净利润前两位企业分别为豪迈科技（23.95亿元）、科达制造（21.67亿元）。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司近期专利情况如下：

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