芯碁微装取得光刻照明系统相关专利，提升直写光刻照明能效，突破产能限制

9月15日消息，国家知识产权局信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“一种用于直写光刻设备的照明系统”的专利，授权公告号CN116909106B，授权公告日为2026年9月11日。申请公布号为CN116909106A，申请号为CN202310850734.8，申请公布日期为2026年9月11日，申请日期为2023年7月11日，发明人张琦，专利代理机构合肥天明专利事务所（普通合伙），专利代理师娄岳，分类号G03F7/20、G02B27/28。

专利摘要显示，本发明涉及直写光刻技术领域，具体公开了一种用于直写光刻设备的照明系统，包括LD空间合束光源，以及依次设置的第一偏振棱镜、准直透镜组、匀光器件、照明透镜组、转接反射镜、DMD微镜阵列。本发明提供的用于直写光刻设备的照明系统通过双棱镜结构将发光灯珠所出椭圆偏振光快慢轴拆分，形成快轴线偏振光和慢轴线偏振光，快轴线偏振光和慢轴线偏振光通过空间合束、偏振合束后，直接经过匀光系统调制成能量均匀的矩形光斑，投射到DMD微镜阵列表面。有效利用了LD线偏振光特性，提高了光学系统能量，结构合理、布局紧凑美观，解决了现有直写光刻设备大多使用光纤合束激光器作为光源，存在限制产能提高的问题，具有广阔的应用前景。

芯碁微装是国内直写光刻设备领域领先企业，专注微纳直写光刻技术研发，具备全产业链布局优势。公司成立于2015年6月30日，2021年4月1日登陆上海证券交易所，注册地为安徽省合肥市，办公地覆盖安徽省合肥市与香港特别行政区。

芯碁微装隶属于申万行业机械设备-专用设备-其他专用设备范畴，核心业务围绕以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备开展研发、制造、销售与配套维保服务，产品覆盖PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统等多类品类，功能覆盖微米到纳米级多领域光刻环节，同时布局光刻胶、光刻机、半导体设备相关概念赛道。

2026年上半年，芯碁微装实现营业收入11.06亿元，在93家同行业企业中排名第22位，高于行业9.03亿元的平均营收水平与4.78亿元的营收中位数，仅低于科达制造103.92亿元、豪迈科技60.16亿元的行业前两位营收规模；当期公司主营业务收入几乎全部来自激光直写成像设备，该品类营收达11.02亿元，占总营收比重99.65%，其余补充类业务收入为382.92万元，占比0.35%。盈利端，公司同期实现净利润2.81亿元，在93家同行业企业中位列第7，大幅超出行业8645.71万元的平均净利润与2266.06万元的净利润中位数，仅次于科达制造19.73亿元、豪迈科技11.34亿元的行业前两位净利润水平。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司近期专利情况如下：

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文由AI大模型基于公开信息生成，不代表新浪财经观点。文中所有信息、数据及图表仅供参考，不构成任何形式的投资建议或决策依据，相关信息以实际公告为准。如有疑问，请联系：biz@staff.sina.com.cn。